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雙離子束薄膜沉積系統
LDJ-3B-F100-100型(單開門板式)


產品介紹
該系統為通用雙離子束薄膜沉積系統,可用於濺射沉積各種材料的薄膜及膜系,包括金屬、合金、化合物、氧化物和半導體材料,也可合成氧化物、氮化物和碳化物等,用於研制和批量生產多種聲、光、電、磁和超導薄膜器件,並在製造納米薄膜器件領域具有技術優勢。
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