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離子束系統和專項研究已廣泛應用於航天航空、軍工系統、中國科學研究院、大專院校、專業研究所和新興的電子、光學及微型特種器件生產企業,獲得了一致良好的高度評價。
中國著名離子束技術權威專家 劉金聲先生精心設計
實用化程度高、操作簡易、維修保養方便、
一流的性能、價格優勢比
技術分享內容
研製高速薄膜磁頭、高功率微波電晶體、高溫超導器件,磁學研究、亞微米光學器件、矽及光柵器件、各種薄膜及光學器件、氣浮陀螺、衛星晶振系統、CdHgTe紅外器件及光纖陀螺、X射線掩膜、氣象衛星CdHgTe紅外器件、GaAs和Si器件、TGS器件、SAW器件、多元光學及MIC器件、波帶片、炫耀光柵、長光柵及反射光學薄膜、SAW器件、CdHgTe紅外器件、光學器件及Si器件、MMIC器件、紅外器件、二元光學器件炫耀光柵、非連續薄膜研究、小型電臺晶振、薄膜電阻、感測器晶片、離子束應用工藝研究等等。

1. 離子束刻蝕系統 LKJ-3D-100型/ LKJ-3D-150型

2. 雙離子束薄膜沉積系統 LDJ-3B-F100-100型
 (單開門板式)

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